制作与测试相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

制作与测试相关论文

微透镜阵列反应离子束蚀刻传递研究

提出一种微透镜阵列复制的新方法反应离子束蚀刻法（ＲＩＢＥ）。它在工作原理和参数控制等方面较传统的蚀刻方法有很大的先进性，能够实现蚀刻过......

期刊

微透镜阵列微光学干法蚀刻反应离子束蚀刻制作与测试

扩展微透镜数值孔径范围的阶梯光刻热熔法研究

在微透镜阵列的光刻热熔制作法中，临界角效应严重影响了微透镜的制作范围和面形质量。在对临界角效应定性研究的基础上，提出了用阶梯......

期刊

微透镜阵列微光学光刻胶制作与测试

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