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微结构阵列光固化制造及其精度控制研究
微结构阵列在材料表面改性方面有着广泛的应用,被广泛应用于医疗、微机电、光学、建筑、交通等领域,传统的微结构阵列加工方式存在......
学位
光固化
微结构阵列
收缩率
制备精度
脱模
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