力敏感膜相关论文
场发射压力传感器是一种新型的压力传感器.器件结构上我们采取硅尖锥阵列体既作为阴极又是受力敏感膜的方案.其工作原理是,在阳极......
场发射压力传感器是一种新型的压力传感器.本文从数值计算和计算机模拟两方面分析了力敏感膜的形变特性.对两种计算结果进行了比较......
利用有限元法计算分析了以阴极尖锥阵列体作为力敏感膜的形变特性，给出了用表达式计算尖锥阵列体形变的修正值，为后继工作提供了可以......
利用有限元法计算分析了以阴极尖锥阵裂体作为力敏感膜的形变特性，给出了用表达式计算尖锥阵列体形变的修正值，为后继工作提供了可以......
