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动力学生长相关论文

热丝CVD大面积金刚石薄膜的生长动力学研究

在传统工业型热丝化学气相沉积(HFCVD)反应腔内,相关工艺参数取模拟计算优化值的条件下,采用XRD,SEM及Raman光谱等分析手段研究了......

期刊

热丝化学气相沉积金刚石薄膜动力学生长模拟计算 Hot-filament CVD Diamond films Growth kinetics Simu

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