微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems，MEMS）需要其驱动器具有大行程、高精度、高响应速度等特点。由于直线电机无需利用传动......

近年来,随着计算机控制相关技术的蓬勃发展,高度集成芯片、高精度设备的需求越来越大,IC制芯、高精度数控系统等超精密加工产业都......

针对隐极式永磁直线同步电机凸极效应不明显的特点,提出了基于动子附加高频绕组的永磁直线同步电机的动子位置和速度测量新方法。......

论述了利用长定子同步电机的齿槽检测信号与线性插值法结合来提高直线同步电机动子位置检测精度的方法.分析了这种方法的误差,给出......