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动态偏压相关论文
动态偏压与真空度对真空电弧沉积Ti—N涂层组织与性能的影响
采用动态偏压和真空度控制方法,用真空电弧沉积技术制备Ti-N涂层,研究了动态参数条件对膜层组织与性能的影响.结果表明,动态参数控......
期刊
真空电弧沉积
动态偏压
动态真空度
组织
性能
氮化钛涂层
vacuum arc deposition
TiN coating
dynamic bias vol
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