动电位极化扫描相关论文
研究了氨基乙酸-H2O2体系抛光液中铜的化学机械抛光行为.通过动电位极化扫描技术和 X 射线光电子能谱仪分析了抛光液中氧化剂和络合......
在CP-4型CMP试验机上采用5μm厚的铜镀层片研究了氨基乙酸-H2O2体系抛光液中铜的化学机械抛光行为,分别采用Sartorius 1712MP8型电......
研究了氨基乙酸-H2O2体系抛光液中铜的化学机械抛光行为.通过动电位极化扫描技术和 X 射线光电子能谱仪分析了抛光液中氧化剂和络合......