化学机械抛光法相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

化学机械抛光法相关论文

CVD金刚石膜化学机械抛光液的研制

金刚石具有优异的机械性能、热力学性能、光学性能、声学性能、半导体性能及化学惰性,作为一种全方位的多功能材料,在诸多领域具有......

学位

CVD金刚石膜化学机械抛光抛光液抛光盘工艺优化

聚氨酯电子抛光垫材料的组成及形态结构研究

选取了两种用于化学机械抛光的聚氨酯抛光垫,通过红外光谱、差示扫描量热分析(DSC)、热重分析(TGA)及扫描电子显微镜(SEM)等手段研......

期刊

化学机械抛光法聚氨酯抛光垫化学组成

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