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化学补偿效应相关论文
B廓了在n(Si)—GaAs层中的化学补偿效应
B注入n(Si)-GaAs层,经高温退火在GaAs晶格恢复过程中,B将占据GaAs晶格中一定位置成为替位B,当B取代As位,则形成双受主BAs,,当B取代Ga位,并形成络合物BGaYAs,将促使Si占As位,形成受主SiAs和......
期刊
B离子注入
GAAS
化学补偿效应
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