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RF MEMS开关在牺牲层工艺上的改进
通过对传统的RF MEMS开关采取在信号线上电镀桥墩、改进桥梁的形状以及在桥背面设计接触点的新颖方法,使得RF MEMS开关的下拉电压减......
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射频微机械开关
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