半导体压力传感器相关论文
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<正> 一、前言扩散型压力传感器已有不少报导。本文介绍的多晶硅薄膜压力传感器则具有许多不同点。例如,感知变形的为多晶硅薄膜、......
最近,传感器在提高可靠性、集成化与智能化方面取得了显著的进展。在产业部门积极推行工厂自动化的进程中,生产的自动化程度越高,......
