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半导体外延材料相关论文
微区应力和应变的电子背散射衍射分析
本论文采用高分辨热场发射扫描电镜(TFE-SEM),配置电子背散射衍射仪(EBSD)和X射线能谱仪(EDS)一体化分析系统,测试了半导体外延材......
学位
半导体外延材料
应力分布
微观结构
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