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半导体外延结构相关论文
半导体材料和器件的微结构与微区应力的EBSD研究
随着微电子器件和光电子器件向着高速化和高集成度方向的迅速发展,半导体外延结构及金属互连线的微观结构特征,以及多层膜之间在制......
学位
EBSD
晶体学取向
应力/应变
Al/Cu互连线
半导体外延结构
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