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半导体硅棒相关论文
全自动硅棒滚圆开槽一体机的设计与应用
根据半导体行业硅棒加工需求,设计了一台集硅棒滚圆、晶向检测、开槽等功能于一体的全自动硅棒滚圆开槽一体机,可加工6"、8"和12"......
期刊
滚圆开槽一体机
半导体硅棒
全自动加工
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