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半导体薄膜生长相关论文
半导体薄膜生长实时监控系统的设计与应用
文章分析了半导体薄膜生长工艺流程的特点.在此基础上,为实验室的ECR-MOCVD设备设计了一套半导体薄膜生长的实时监控系统, 介绍了......
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半导体薄膜生长
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