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直拉硅单晶生长设备中的控制问题
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直拉硅
单晶生长设备
SiC单晶生长设备加热系统设计及其仿真
随着半导体技术的发展,传统的第一代材料Si和第二代材料GaAs由于本身结构和特性的原因,在高温、高频、高功率等方面显示出其不足和......
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SiC
单晶生长设备
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