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单晶硅切削实验相关论文
两自由度快速刀具伺服加工技术研究
光学自由曲面、微结构功能表面和脆性材料由于其优异的机械,光学,物理和化学性能而广泛应用于精密工程,光学仪器,半导体,航空航天,......
学位
快速刀具伺服
压电驱动柔性机构
柔度矩阵建模
脆性材料去除机理
单晶硅切削实验
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