单晶硅微结构相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

单晶硅微结构相关论文

多物理场下微结构力学特性研究

高温工艺在MEMS制作过程中广泛采用，微结构在温度场和应力场的作用下的力学特性影响到器件的性能，本论文对多物理场下微结构的力学特......

学位

单晶硅微结构杨氏模量塑性变形压阻器件氮化硅薄膜残余应力力学特性高温工艺

基于KOH腐蚀的单晶硅表面非周期性微纳米结构的制备

硅基半导体微结构由于其独特性能在能源、传感器等领域内被广泛应用。本文利用水热法,通过碱溶液对单晶硅的各向异性腐蚀性,在单晶......

学位

KOH/IPA 单晶硅微结构各向异性纳米级基底载体

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