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单晶硅挠性筋相关论文
单晶硅表层机械力学特性的各向异性分析
为探究挠性筋结构单晶硅材料的各向异性特性以及KOH腐蚀工艺对其力学性能的影响规律,进行纳米压痕实验,并结合原子力显微镜观察单......
期刊
单晶硅挠性筋
各向异性
纳米压痕
腐蚀工艺
机械力学特性
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