单晶纳米硅相关硕士博士期刊学术论文

用小电流、特殊配比溶液的电化学阳极腐蚀法在p型、<100>晶向、0．01Ω·cm电阻率的硅片制备了大面积纳米硅薄膜．通过SEM，TEM，XRD和......