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单晶SiC基片相关论文
单晶SiC基片超精密磨粒加工机理研究
以集成电路(IC)和光电子器件制造为代表的微电子和光电子制造是电子信息产业的核心,也是当今世界竞争最激烈、发展最迅速的产业。......
学位
单晶SiC基片
磨粒加工
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单晶SiC基片超精密加工表面及亚表面损伤研究
单晶SiC作为第三代宽禁带半导体材料,具有宽带隙、高热导率、高击穿场强、高饱和电子漂移速率和高键合能等优点,被广泛用作高频大......
学位
单晶SiC基片
亚表面损伤
研磨
磨削
集群磁流变抛光
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