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单步工艺相关论文
波状基区RC-GCT的工艺研究
波状基区RC-GCT是在传统的逆导门极换流晶闸管(RC-GCT)的基础上,引入复合隔离区和波状p基区形成的新型大功率器件。与传统的RC-GCT......
学位
波状基区
逆导门极换流晶闸管
单步工艺
模拟试验
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