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单源进液金属有机化学气相沉积法工作气压对YBCO薄膜制备的影响研究
基于金属有机化学气相沉积法(MOCVD),在沉积有Y2O3/YSZ/CeO2(YYC)多层过渡层的Ni-W_at.5%金属基带上沉积YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导薄膜。通......
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单源系统
YBCO高温超导薄膜
金属有机物化学气相沉积
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