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一种硅微机械结构振动幅度的电学测量方法及实验研究
针对硅微机械结构振动幅度由于封装难以计算机视觉测量及电学测量中的精度受接口电路参数影响的问题,在对静电梳齿驱动、平板电容......
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硅微机械结构
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单边带比
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vibration amplitude
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