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单面工艺相关论文
3D硅基探测器研究现状
柱电极垂直穿通硅片衬底的3D探测器和传统平面硅基探测器相比,具有耐辐射性、快速响应、低耗尽电压等优势,然而其器件结构、制备工艺......
期刊
探测器
3D硅基探测器
综述
辐射
单面工艺
双面工艺
影响因素
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