压电微动相关论文
近年来,微纳结构的优化设计引起了各国研究者的重点关注和研究。其中,微纳波形结构由于其具有独特力学性能,在较多领域具有较大的......
首先,搭建近场直写设备和设计微动装置,为补偿压电陶瓷促动器的小行程采用柔性放大机构,并进行有限元分析其应力和共振频率;然后,......