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压电陶瓷作动器控制相关论文
压电陶瓷作动器的纳米定位与跟踪控制方法研究
随着纳米科学和纳米技术的飞速发展,在微电子、光纤通讯、精密加工等领域都迫切需要精度高、稳定性好的微纳米作动器。压电陶瓷作......
学位
压电陶瓷作动器控制
鲁棒补偿
迟滞特性
滑模控制方法
滑模观测器
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