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厚膜绝缘体上的硅相关论文
厚膜SOI材料和SiGeOI材料制备研究
绝缘体上的硅(SOI)材料以其独特的结构在低压、低功耗电路,高温、抗辐照器件和光电子学等方面都有广泛的应用,并且与成熟的硅工艺......
学位
厚膜绝缘体上的硅
绝缘体上的锗硅
注氧隔离
气相外延
氢
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