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原子层数控制相关论文
化学气相沉积氮化硼薄膜的工艺、结构和性能研究
氮化硼薄膜是一种类石墨烯蜂巢晶格结构的薄膜,由交替的硼原子和氮原子组成。氮化硼薄膜继承了氮化硼块体材料的力学、电学、热学......
学位
氮化硼
薄膜
单晶
化学气相沉积
硼吖嗪
气凝胶
原子层数控制
单原子层
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