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原子覆盖率相关论文

动力学晶格蒙特卡洛方法模拟Cu薄膜生长

利用动力学晶格蒙特卡洛方法模拟了Cu薄膜在Cu（100）面上的三维生长过程．模型中考虑了四个动力学过程：原子沉积、增原子迁移、双原子迁......

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薄膜生长原子迁移 KLMC模拟沉积速率基底温度原子覆盖率表面粗糙度 Thin film growth Surface diffusion KLMC

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