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叉指电容式集成加速度计相关论文
叉指电容式集成加速度计的研究
本文的研究工作是围绕着体硅电容式微加速度计结构芯片及其接口ASIC芯片研制、自检测技术、敏感结构与接口电路混合集成技术研究等......
学位
叉指电容式集成加速度计
动态阻尼理论
等效能量法
自检测结构
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