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双偏压HFCVD相关论文
纳米金刚石薄膜的制备机理及其机械性能研究
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石膜是集优异的力学、电学、热学、声学和化学性能于一体的材料,在高科技领域有......
学位
双偏压HFCVD
纳米CVD金刚石
制备系统
温度场
机械性能
机理
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