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双偏角相关论文

GaAs器件的离子注入新技术研究

本文介绍了离子注入技术中双偏角注入,大偏角注入和双向双偏注入等新工艺与使用效果。同时,阐析了BF~+对Si~+注入的沾污,以及以上......

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离子注入大偏角双向双偏注入双偏角沟道效应 MESFET 材料改性新技术研究注入技术阈值电压

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