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离子注入金属饱和注量及浓度分布的计算和实验研究
Ti 注入钢的射程参数(1~1000keV)是用 TRIM87程序计算而得到的.考虑到高注量注入溅射效应的影响,利用 Schuilz 模型计算了 Ti 注入......
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