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双层杂质浓度相关论文
双层硅外延片在大功率器件中的应用
主要介绍了具有双层杂质浓度分布的硅外延片在改善或消除雪崩注入二次击穿、改善大电流特性以及改善高频特性等方面所起的重要作用......
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双层杂质浓度
硅外延片
大功率器件
Doubledecker impurityExtension siliconHighpower device
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