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双层SiNx∶H减反膜多晶硅太阳电池及其组件性能研究
利用管式PECVD在多晶硅片上获得钝化效果和减反性能优异的双层SiNx∶H薄膜,其中底层和顶层SiNx折射率分别为2.35和2.01,膜厚为17 n......
期刊
双层SiNx∶H薄膜
钝化
管式PECVD
功率损失
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