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InGaAs沟道场效应晶体管及其硅基异质集成研究
In Ga As场效应晶体管按照栅极结构的不同主要可以分为肖特基栅极的高电子迁移率晶体管(High Electron Mobility Transistor,HEMT)和......
学位
InGaAs HEMT
InGaAs MOSFET
双栅槽工艺
硅基异质集成
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