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半导体制造作为互联网和信息化的基础，它的发展水平是体现一个国家现代经济和高科技力量的重要象征。随着半导体晶圆的直径日趋变大......
晶圆制造的加工工艺日趋复杂，组合设备加工模块中存在严格的逗留时间约束以及频繁的故障，因此研究其生产调度，排除出现的故障成为至关......
半导体制造是支撑当今信息产业的基础性产业。晶圆制造工艺复杂,传统的晶圆制造工艺将难以满足复杂的工艺需求,而组合设备为单晶圆......
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