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首次采用双重肖特基势垒增强层技术,制作了InGaAs金属-半导体-金属光电探测器。实验结果表明:具有15nm的p-InP和100nm的InP双重势垒增强层的器件,极大地减小了暗......
首次采用双重肖特基势垒增强层技术,制作了InGaAs金属-半导体-金属光电探测器。实验结果表明:具有15mm的p-InP和100nm的InP双重势垒增强层的器件,极大地减少了暗......
本文首次采用双重肖特基势垒增强层技术,制作了InGaAsMSMS-PD光电探测器.实际结构表明:具有15nm的P-InP和100nmInP双重势垒增强层的器件......