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双面对准光刻机相关论文

紫外线厚胶光刻技术研究及应用

紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于3D微机械结构的制作.本文选用AZ4620和SU-8两种光刻厚胶,采用德国卡尔*休斯公司的MA-6双面对准光......

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紫外线厚胶光刻技术 SU-8 AZ4620 双面对准光刻机紫外线光刻工艺胶结构图形 UV lithographySU8AZ46203D MEMS

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