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反型沟道相关论文
6H—SiC反型沟道和掩埋沟道MOS器件的特性
介绍了在宽禁带半导体6H-SiC材料上制作的反型沟道和掩埋沟道栅控二极管及MOSFET。器件的制作采用了热氧化和离子注入技术。因为6H-SiC禁带宽度为3eV,用MOS电......
期刊
半导体材料
反型沟道
掩埋沟道
MOS器件
应变Si/SiO2界面对NMOS沟道电子迁移率的影响研究
本文提出全新的半经验应变Si NMOS反型沟道电子迁移率模型,此模型考虑了晶格散射,离化杂质散射,表面声子散射,界面电荷散射以及界面粗......
期刊
应变SI
NMOS
反型沟道
电子迁移率
散射
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