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反应沉积法制备c轴取向ZnO薄膜及表征
以二水合醋酸Zn为原料,采用反应沉积方法在非晶玻璃衬底上制备出了高度c轴取向、结晶良好的ZnO薄膜.研究了不同衬底温度和Zn源温度......
期刊
反应沉积法
制备
C轴取向
ZNO薄膜
表征
X射线衍射
紫外辐射光吸收
氧化锌
半导体
ZnO thin films
Reactive deposition
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