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反应溅射刻蚀相关论文

声表面波器件的工艺技术

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声表面波器件工艺技术无机光刻胶微米干法显影叉指电极光刻胶反应溅射刻蚀干法刻蚀掩模

离子束刻蚀在微细加工中的应用

一、引言在微细加工艺中,离子束刻蚀具有独特的优点。无沾污,无钻蚀,具有极高的刻蚀分辨率,刻蚀0.2微米的线条已付诸生产应用。最......

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离子束刻蚀反应溅射刻蚀声表面波器件金相结构等离子体刻蚀集成光学刻蚀速率钻蚀磁泡微米

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