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叠层薄膜电容开边机结构设计与仿真分析
叠层薄膜电容开边机项目来源于中国电子科技集团公司第二研究所控股的太原风华信息装备股份有限公司签订的研制合同。作为电子元器......
学位
薄膜电容开边机
参数化
凸轮
仿真分析
有限元法
专利名称:真空电弧蒸发源及使用它的薄膜形成装置
...
期刊
真空电弧蒸发源
薄膜形成装置
阴极蒸发
等离子体
叠层薄膜
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