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可控寄生电容相关论文
一种MEMS压控电容设计及其相位噪声分析
给出了一种MEMS压控电容的设计和相位噪声分析结果。在电容器结构中引入衬底金属层以达到控制寄生电容的目的;使用HFSS进行了上极......
期刊
MEMS压控电容
可控寄生电容
刻蚀孔
相位噪声
MEMS varactor controllable parasitic capacitance etch
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