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同线场电极相关论文
新型水晶体波谐振式膜厚传感器
介绍一种利用B模式厚度切变体波工作的新型水晶谐振式膜厚传感器。它采用修正式SC切型 ,以同线场电极激励。它可以在 10~ 2 80℃范......
期刊
膜厚传感器
厚度切变振动
水晶体波
SC切型
同线场电极
谐振式
thin-film thickness sensor
B mode
thickness she
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