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周期性图形制造相关论文

用于大面积周期性图形制造的激光干涉光刻

用两束或多束相干激光束以不同的组合形式对光致抗蚀剂曝光,可在大面积范围内产生精细的二维周期性图形,这个方法特别适合于产生光......

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