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啮合间隙分布相关论文
一种适于直排大气的罗茨干泵转子的型线与结构
IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的......
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罗茨真空泵
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啮合间隙分布
Roots vacuum pump
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