喷淋式反应器相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

喷淋式反应器相关论文

MOCVD生长AlN的数值模拟及反应器优化

AlN单晶薄膜是重要的第三代半导体材料,具有宽带隙、耐辐射、耐高温等特点,广泛用于制备半导体发光器件和功率器件。金属有机化学......

学位

MOCVD AlN 喷淋式反应器高速转盘式反应器行星式反应器气相化学反应数值模拟

喷淋式MOCVD反应器中AlN的生长速率和化学反应路径的数值模拟研究

利用数值模拟方法,结合反应动力学和气体输运过程,研究喷淋式MOCVD反应器中AlN的生长速率和气相反应路径与反应前体流量(NH3和H2)......

期刊

MOCVD AlN 喷淋式反应器气相反应数值模拟

看过本文同时还关注