喷淋式MOCVD反应器相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

喷淋式MOCVD反应器相关论文

喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计

对喷淋式MOCVD反应器中的传质过程进行了数理分析,并提出了该类型反应器的结构设计原则.数理分析显示,基片上方各点的轴向速度仅是......

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